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IR-400用于腔室清洗終點監測的高級氣體監測儀

IR-400用于腔室清洗終點監測的高級氣體監測儀

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IR-400 可在沉積過程中實時監測腔室清洗終點。通過優化清洗過程，IR-400 減少了清洗時間和氣體用量。清洗氣體用量減少會降低對腔室的損害，并增加所有系統部件的壽命
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